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制程片PL模組



簡介

制程片PL檢測模組可應(yīng)用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后,對過程片進行缺陷檢測。

可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網(wǎng)上料處以及離線設(shè)備,結(jié)合客戶端現(xiàn)有設(shè)備實現(xiàn)剔除。

采用了特殊定制相機和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法相結(jié)合,可快速、準確地檢測出缺陷,檢測速率大大提升。

采用非接觸式的檢測方式,大大降低了在生產(chǎn)電池片各個工藝過程中的碎片率,是分析工藝問題、提高成品率、降低成本必不可少的視覺檢測設(shè)備。為產(chǎn)品質(zhì)量提供了完全可靠的保障。



  


                         過程片

產(chǎn)品特性

產(chǎn)能大于4500/小時

兼容多尺寸片源,更換尺寸無需更換硬件,降低人力及耗材成本

無接觸式檢測,不會對過程片造成二次損傷

提前篩選出問題片,節(jié)約制造成本                                                                            

自動統(tǒng)計各類缺陷、良品數(shù)量及比例

適用于制絨、蝕刻、擴散、PECVD等多種工序



技術(shù)指標

可檢測缺陷:

隱裂、劃傷、污染、黑斑、吸盤印、皮帶印等

模塊產(chǎn)能:

4500p/H

相機類型:

高清紅外線掃工業(yè)相機

適用電池片規(guī)格

156210mm(±0.5mm) , 160~200μm


缺陷對比圖


PL

 

 

 

 

 


EL

 

 

 

 

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